Osaka Vakum kombinasyonu ve stator bıçak bıçak ekledi dişli groove için hareket. Rotor sürükleyin silindirik duvarların içinde stator oluk boyunca dişli molekülleri gaz, yan basınç geri teslim onlara. Yivli oluk işlevsellik için bize etkin aralığı geliştirmek turbo moleküler pompa (bileşik moleküler pompa akış moleküler içinde ek olarak) yorucu büyük yetenekli aralıklarını akış ortamında akış birimleri, özellikle. Bu uygulamaların geniş bir anda kullanılan Genişletilmiş pompalar için turbo moleküler dizi çalışma. ve kabiliyeti yüksek geri basınç altında çalışmasına yardımcı pompaları için seçimler büyümüştür.